介紹
除了上述提到的以外，還有一些鮮為人知的獨(dú)特類型的流量計(jì)技術(shù)，這些技術(shù)通常為單個應(yīng)用提供解決方案。沒有“非常佳流量計(jì)”，這完全取決于應(yīng)用程序以及用戶對設(shè)備的期望。
在本文中，您將了解氣體流量相對較低的測量儀器，例如 ，從幾cc / min到500或1000 ln / min。在這一應(yīng)用領(lǐng)域中，非常常見的儀表是帶有熱旁路概念的氣體質(zhì)量流量計(jì)。有氣體 質(zhì)量流量計(jì)（MFM） 和 質(zhì)量流量控制器（MFC）。非常終，流量計(jì)將配備一個控制閥，您可以提供一個確定所產(chǎn)生的氣體流量的設(shè)定值。MFC是這些工具的參考。
測量概念
在熱旁路概念中，大多數(shù)測得的氣體流經(jīng)旁路。在旁路中是一個產(chǎn)生非常小壓降的元件。結(jié)果，少量氣體流經(jīng)傳感器，該傳感器平行于旁路運(yùn)行。該傳感器測量氣體流量，該氣體流量代表所監(jiān)視氣體的總量。每個儀器都針對特定的氣體和特定的測量范圍而構(gòu)建。
質(zhì)量流量計(jì)（MFM）和質(zhì)量流量控制器（MFC）的名稱不言而喻：這些儀器測量和調(diào)節(jié)氣體流量，例如以kg / hr為單位。測量值也可以以標(biāo)準(zhǔn)化體積為單位表示，例如ln / min（每分鐘標(biāo)準(zhǔn)升）或SCFH（每小時標(biāo)準(zhǔn)立方英尺）。在SCFH（每小時標(biāo)準(zhǔn)立方英尺）中，“ S”是指20°C和1個大氣壓，而NCCM（標(biāo)準(zhǔn)立方厘米/分鐘）是在0°C和1個大氣壓的參考條件下表示的。畢竟，氣體的質(zhì)量單位與歸一化體積（密度）之間存在固定的關(guān)系。
基于毛細(xì)管傳感器的MFC 與帶有MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）傳感器的儀器 之間存在區(qū)別 。兩種傳感器技術(shù)都有優(yōu)點(diǎn)和局限性。由于沒有可怕的測量儀器，在此特意避免使用“ cons”一詞。該應(yīng)用程序可以驅(qū)動首選示例，例如 保時捷911 是一款出色的汽車，但您不應(yīng)在撒哈拉沙漠中使用它。
什么是毛細(xì)管流量傳感器？
毛細(xì)管傳感器由一根細(xì)鋼管（外徑為0.2至1毫米）組成，并用兩根細(xì)鉑金絲包裹。的鉑絲用作電阻和是惠斯通電橋的一部分。鉑絲的電阻值取決于溫度。這些導(dǎo)線中有電流通過，從而將它們加熱。在零流量時，電阻是相同的，但是當(dāng)流量通過傳感器時，電子設(shè)備會檢測到溫度差。
MFC中的層流元件（LFE）在旁路中配有毛細(xì)管傳感器。該LFE會產(chǎn)生層流行為，就像在傳感器內(nèi)部一樣。LFE意味著通過傳感器的流量與通過旁路的流量之間的關(guān)系在測量范圍內(nèi)幾乎是線性的。由于這種線性關(guān)系，可以用廉價的純凈氣體（如空氣）校準(zhǔn)該MFC并使用已知因素使儀表適合其他異國，爆炸，有毒或易燃?xì)怏w。如果應(yīng)用所謂的K因子，則會有更多不確定性。在知名制造商的用戶手冊中，據(jù)報(bào)告指示性誤差還超過2％。諸如粘度，壓力和溫度之類的參數(shù)會影響K因子的準(zhǔn)確性。重要的是要注意這種傳統(tǒng)的校準(zhǔn)方法，該方法會產(chǎn)生不確定性，而這些不確定性在文檔中很少提及。
此類MFM / MFC必須使用應(yīng)用中使用的實(shí)際氣體進(jìn)行校準(zhǔn)。優(yōu)點(diǎn)是儀器因此更加精確。對于某些奇特的氣體，可能會產(chǎn)生相關(guān)性，盡管重復(fù)性仍然很低，但準(zhǔn)確性會受到影響。
什么是MEMS流量傳感器？
基于MEMS的MFM / MFC沒有LFE，而是有規(guī)律的旁路。其功能是確保流過傳感器的總氣體的定義百分比。傳感器的孔徑大得多，因此，例如，壓降相對較低，并且傳感器對污染的敏感性低于毛細(xì)管。MEMS傳感器的靈敏度也高得多，這是因?yàn)榭梢垣@得1000：1的調(diào)節(jié)比（毛細(xì)管傳感器的調(diào)節(jié)比是50：1）。
然而，MEMS傳感器的非常大優(yōu)點(diǎn)是沒有（可測量的）漂移。漂移是零的緩慢偏移，因此給定流量下的測量值會影響精度。
MEMS傳感器測量原理
MEMS質(zhì)量流量計(jì)的傳感器
利弊
毛細(xì)管傳感器在鉑絲上表現(xiàn)出機(jī)械應(yīng)力和熱應(yīng)力以及絕緣材料的老化。毛細(xì)管傳感器必須在加熱柜中接受“老化”，以加速老化過程。老化的毛細(xì)管傳感器顯示的漂移小于，但仍然存在。制造商有時會使用低流量截止選項(xiàng)來隱藏這種效果。在特定值下，測試信號被強(qiáng)制為零，從而掩蓋了小的漂移。
MEMS傳感器由兩個或三個溫度傳感器和一個加熱器組成，該加熱器氣相沉積為薄膜上的微觀分子層。從概念上講，MEMS是低能量的傳感器，并且由于膜的熱和應(yīng)力隔離，這確保MEMS傳感器不受任何機(jī)械應(yīng)力和熱應(yīng)力的影響。另外一個要點(diǎn)：傳感器是全部安裝在MEMS上的電子電路的一部分。被測信號立即在MEMS傳感器本身上數(shù)字化。沒有不良的連接，沒有EMC使信號失真。這些是MEMS傳感器不漂移并保持長期精度，可重復(fù)性和可靠性的主要原因。
傳感器的另一個優(yōu)點(diǎn)是速度非�？欤喉憫�(yīng)時間為50毫秒。接通電源后，一秒鐘內(nèi)即可使用設(shè)備，而毛細(xì)管概念需要15分鐘。儀器不需要定期進(jìn)行調(diào)零（對于毛細(xì)管MFC，這是標(biāo)準(zhǔn)程序）�；贛EMS的MFC顯著提高了被測流量和調(diào)節(jié)流量的可靠性。
非常后，不應(yīng)提及MEMS確實(shí)需要進(jìn)行適當(dāng)?shù)臏囟妊a(bǔ)償。更先進(jìn)的制造商總是在兩個不同的溫度下校準(zhǔn)他們的MEMS單元。在運(yùn)行期間，它們測量氣體溫度并補(bǔ)償MFM / MFC讀數(shù)。這也有助于氣體測量/控制的準(zhǔn)確性和可重復(fù)性。
概要
這兩個概念都有其強(qiáng)項(xiàng)和弱項(xiàng)。所述毛細(xì)管傳感器，結(jié)合所述LFE導(dǎo)致通過傳感器和旁路流之間的合理的線性關(guān)系。因此，可以使用所謂的K因子，即兩種氣體之間的乘數(shù)。對于腐蝕性氣體，毛細(xì)管傳感器可以使用安全氣體（如空氣）進(jìn)行校準(zhǔn)，并使用此K系數(shù)。這樣，這些單元就可以用腐蝕性氣體測量出合理的校正值。
但是，K因子校準(zhǔn)并不總是準(zhǔn)確的，有些MFC比其他的要好，盡管大多數(shù)毛細(xì)管制造商都沒有這樣做，但非常好還是用實(shí)際氣體進(jìn)行校準(zhǔn)。其他優(yōu)點(diǎn)還包括高壓版本的可用性以及腐蝕性應(yīng)用材料的選擇。
對于基于MEMS的MFC，我們在準(zhǔn)確性，響應(yīng)時間和量程比方面有更好的規(guī)格。MEMS傳感器無法使用K因子，因此MFC需要使用實(shí)際氣體進(jìn)行校準(zhǔn)。限制是這些MFC不適合每種氣體。一些MEMS制造商為補(bǔ)償其器件的溫度做了很長的路要走。這樣可以在更寬的溫度范圍內(nèi)提供更高的精度。
基于MEMS的MFC的關(guān)鍵優(yōu)勢在于傳感器的零漂移。這樣可以提高長期精度，可重復(fù)性和可靠性。
4質(zhì)量流量控制器模塊化類型
客戶特定解決方案中的四個質(zhì)量流量控制器
質(zhì)量流量控制器的典型應(yīng)用
- PVD-以及半導(dǎo)體行業(yè)的其他流程
- 生物反應(yīng)器中空氣，氧氣，氮?dú)夂投趸嫉膭┝?/li>
- 空氣注入冰淇淋，獲得乳脂狀產(chǎn)品和非常佳口味
- 啤酒發(fā)酵過程中使用的空氣/氧氣劑量
- 在食品包裝應(yīng)用中為食品加氣的氣體混合（MAP：氣調(diào)包裝）
- 實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用，例如分析和催化劑研究<
- 泄漏測量和滲透率研究
- 玻璃燃燒器的氣體控制（氧氣和燃料）質(zhì)量和成本降低
- 使用流量/壓力法進(jìn)行組件測試
- 金屬處理工藝
- 分析儀中的流量控制
- 沖洗/沖氣
- 一棟建筑/工業(yè)綜合體中多個部門的耗氣量測量
- 液態(tài)金屬凈化中的氣體計(jì)量
- 還有更多您可以考慮的……
