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精確的金屬管浮子流量計改善了真空鍍膜結果

發(fā)布日期:2019-08-26  來源:  作者:  瀏覽次數(shù):
【導讀】:多變量MQ系列流量計和MCQ系列金屬管浮子流量計可測量質量流量,體積流量和壓力。因此,可以設置控制器用于質量流量的閉環(huán)控制,同時還報告壓力或壓力的閉環(huán)控制,同時還報告質量流量。每臺儀器都配有NIST可溯源校準證書,證明了滿量程精度的2%。......
亞利桑那州圖森市擴展其快速響應流量儀表產品,Alicat Scientific增加了高壓質量流量計和相應的高壓金屬管浮子流量計系列。MQ系列儀表和MCQ系列金屬管浮子流量計可在高壓系統(tǒng)中運行,非常高可達320 PSIA(22 bar)。新產品可確保精確穩(wěn)定的系統(tǒng)性能,傳感器響應速度為10 ms,控制器響應時間小于100 ms。
 
多變量MQ系列流量計和MCQ系列金屬管浮子流量計可測量質量流量,體積流量和壓力。因此,可以設置控制器用于質量流量的閉環(huán)控制,同時還報告壓力或壓力的閉環(huán)控制,同時還報告質量流量。每臺儀器都配有NIST可溯源校準證書,證明了滿量程精度的2%。
 
儀器預裝了多達98個車載氣體校準裝置。Alicat內置的COMPOSER™氣體混合軟件可用于使用標準氣體列表組成多達20種定制混合物。氣體類型的變化幾乎不影響精度,并且自動重新校準滿量程閥門范圍以保持吞吐量范圍。
 
金屬管浮子流量計提供多變量接口顯示,以及每臺儀器上數(shù)據(jù)豐富的串行和模擬連接,可用作獨立設備或響應式集成系統(tǒng)組件。數(shù)字(RS-232,RS-485,Modbus)和模擬(0-5v,0-10v,4-20mA)通信均可定制,以適應各種非常終用戶應用。Alicat提供NPT,SAE,下行和NeSSi過程連接。閥門類型和孔口尺寸的選擇允許配置產品以獲得非常佳速度和穩(wěn)定性。
金屬管浮子流量計.jpg
Alicat MCE和MCV精確控制氣體流速低至0-0.5 sccm滿量程或高達0-20 slpm滿量程,控制響應時間為50至100毫秒。快速響應時間可以大大改善真空鍍膜終端產品,并有助于消除目標中毒。集成的氣動截止閥通常是關閉的,可提供1 x 10-9 atm-sccm / sec的非常大氦氣關閉。
 
MCE可以替代傳統(tǒng)的MKS 1179A型Mass-Flo®,而MCV則可以取代已停產的MKS 2179A型Mass-Flo®。金屬管浮子流量計采用通用12-30 VDC電源供電,Alicat將匹配9針或15針D-sub連接器上任何預先存在的針腳,便于更換。這些裝置可以任何方向安裝,甚至可以倒置安裝,無需重新校準,從而進一步簡化了安裝。

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